FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV)測(cè)試、電容電壓 (CV) 測(cè)試、脈沖式 IV 測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測(cè)試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程，并可與概倫 9812 系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成，其快速 DC 測(cè)試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測(cè)試效率。

FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備。

• 在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓(IV)測(cè)試、電容電壓(CV)測(cè)試、脈沖式IV測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速波形發(fā)生與釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力，幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測(cè)試系統(tǒng)中完成。

• 全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程，并可與概倫9812系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成。

• 釆用工業(yè)通用的PXI模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)配置靈活，擴(kuò)展性強(qiáng)。

• 內(nèi)置專業(yè)測(cè)試軟件LabExpress提供豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能。

• LabExpress軟件同時(shí)支持自動(dòng)化量測(cè)和并行量測(cè)，可進(jìn)一步提升測(cè)試效率。

• 廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型材料與器件測(cè)試、器件可靠性等研究領(lǐng)域。

• 產(chǎn)品應(yīng)用

• 新型材料與器件測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件可靠性測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件超短脈沖測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件無(wú)損探傷與測(cè)試

• 光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測(cè)試

主要規(guī)格參數(shù)：

• 寬量程：200V 電壓，1A 直流電流
• 高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度
• 噪聲測(cè)試帶寬：高精度zui高 100kHz，超低頻zui高 40Hz
• 噪聲測(cè)試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）
• 內(nèi)置脈沖測(cè)試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50μs 脈寬
• 內(nèi)置 CV 測(cè)試：200V/10kHz，zui低可測(cè)至 20fF
• 外置 CV 測(cè)試模塊：40V/2MHz（高精度型）；40V/10MHz（高帶寬型）
• 高速時(shí)域信號(hào)采集：最小采樣時(shí)間 < 1μs，10 萬(wàn)點(diǎn)數(shù)據(jù)
• 噪聲測(cè)試最小阻抗：500Ω
• 噪聲測(cè)試分辨能力：zui低 2e-28A2/Hz
• 噪聲測(cè)試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz
• 高精度快速波形發(fā)生與測(cè)量套件
• 2 通道，SMA 接口
• 快速 IV 測(cè)試：±10V 電壓，zui大 10mA 電流
• SMU 直通：±25V 電壓輸入，zui大 100mA 電流
• 100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns

  
  

軟件功能

FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測(cè)量軟件具有強(qiáng)大的測(cè)試和分

析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè)

定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測(cè)試、任意波形

發(fā)生與測(cè)量功能

支持長(zhǎng)程 Stress 測(cè)試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，

J-Ramp）可靠性測(cè)試

內(nèi)置的常見(jiàn)器件測(cè)試預(yù)設(shè)可大大提高測(cè)試設(shè)置效率，幫助

新手操作者快速完成測(cè)試

強(qiáng)大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號(hào)

內(nèi)置強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理能力可測(cè)試后直接展幵器件特性分析多

種數(shù)據(jù)保存方式，導(dǎo)出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直

接導(dǎo)入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進(jìn)行模型提取

和特性分析

LabExpress 專業(yè)版支持對(duì)主流探針臺(tái)和矩陣幵關(guān)設(shè) 備的控

制，支持晶圓映射、并行測(cè)試實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試功能，進(jìn)—步

提升測(cè)試效率